本文解決了現(xiàn)有MWCVD生長系統(tǒng)中容易被氣流吹走偏離最佳位置、籽晶與金屬鉬襯底導(dǎo)熱困難、傳統(tǒng)焊接介質(zhì)熔點(diǎn)過低、與金剛石相容性差或反應(yīng)嚴(yán)重?fù)p壞的問題，無法滿足金剛石優(yōu)質(zhì)生長的問題。方法：1、清洗；2、選擇焊接介質(zhì)；3、放置樣品；4、真空釬焊是完成同質(zhì)外延金剛石真空釬焊的方法

金剛石真空釬焊方法的特點(diǎn)是同質(zhì)外延生長單晶金剛石真空釬焊方法按以下步驟進(jìn)行：1、清洗：清洗金剛和金屬鉬襯底片，清洗后的金剛石和清洗后的金屬鉬襯底片；2、焊接介質(zhì)的選擇：用沖壓機(jī)沖壓合金，形成厚度為20μm～100μm平整合金薄片，將平整合金片切割成比清洗后的金剛石籽晶長寬大0.5mm～1.5mm方片，獲得焊接介質(zhì)；Fe元素在合金中的質(zhì)量百分比為3％～5％，Ti元素質(zhì)量百分比10%％～20％，Cr元素質(zhì)量百分比為10％～25％，余量為Ni元素；3、放置樣品：將清洗后的金屬鉬襯底、焊接介質(zhì)和金剛石籽晶依次放置在真空釬焊爐底座夾具上；4、真空釬焊：①、關(guān)閉真空釬焊爐，對爐體進(jìn)行抽真空，使真空釬焊爐內(nèi)真空度達(dá)到5.0×10^?4Pa～1.0×10^?3Pa；②、將Ar氣體作為保護(hù)氣體通入真空釬焊爐，控制Ar氣體流速為30sccm～100sccm，直到真空釬焊爐內(nèi)氣壓達(dá)到0.6atm～0.9atm；③、1MPa用于清洗后的金剛石沿垂直方向施用～5MPa的壓力，然后是3℃/min～8℃/min的升溫速度提高了真空釬焊爐的溫度，真空釬焊爐的溫度達(dá)到1050℃～溫度為1150℃，然后在1050℃～1150℃，1MPa～在5mpa的條件下，保溫10min～20min；④、以3℃/min～8℃/min的冷卻速度降低了真空釬焊爐的溫度，將真空釬焊爐的溫度降低到室溫；⑤、放氣，使真空釬焊爐內(nèi)氣壓達(dá)到1atm后，開爐，采用真空釬焊制備的籽晶襯底，即完成金剛石的真空釬焊方法。