一種靶材的真空釬焊工藝，該工藝包括三個(gè)主要步驟：

**步驟一：靶材冷卻系統(tǒng)的裝配**

在開始真空釬焊之前，首先要對(duì)銅鉻底板(1)、不銹鋼水嘴(2)、銅鉻方腔(3)進(jìn)行徹底清洗，確保表面無油、無氧化、無任何污染物。清洗后，對(duì)這三個(gè)組件的焊接部位進(jìn)行活化處理，該處理過程包括使用蝕刻液蝕刻焊接部位，蝕刻厚度為焊接部位厚度的1/35至1/40，蝕刻時(shí)間為9至11分鐘。之后，在蝕刻區(qū)域涂抹活性劑，并將其放入150至180°C的惰性氣體中干燥。

接下來，在不銹鋼水嘴(2)和銅鉻方腔(3)的特定部位涂抹鎳基焊膏，然后將銅鉻底板(1)裝配進(jìn)方腔(3)內(nèi)，并在裝配接口四周繼續(xù)涂抹鎳基焊膏?；罨瘎┑耐磕考s為鎳基焊膏質(zhì)量的2至5%。之后以2至5MPa的壓力和0.5至1cm2的單次擠壓面積對(duì)涂抹了鎳基焊膏的區(qū)域進(jìn)行擠壓，并重復(fù)擠壓3至5次以確保焊膏層的均勻分散。裝配完成后，對(duì)銅鉻底板(1)和不銹鋼水嘴(2)施加壓重，從而得到完整的靶材冷卻系統(tǒng)。

**步驟二：真空釬焊**

將裝配好的靶材冷卻系統(tǒng)放入真空度為5×10^-2Pa的真空爐中，啟動(dòng)控制程序，通過梯度升溫的方式進(jìn)行加熱。具體來說，首先在35至40分鐘內(nèi)將溫度升至345至355°C，并保溫20至30分鐘；接著，在40至60分鐘內(nèi)升溫至645至655°C，保溫30至40分鐘；之后，在同樣的時(shí)間范圍內(nèi)將溫度升至965至975°C，并保溫30至40分鐘；最后，在20至30分鐘內(nèi)將溫度提升至1045至1055°C，保溫5至8分鐘。保溫結(jié)束后，斷電讓系統(tǒng)隨爐自然冷卻。當(dāng)溫度降至595至605°C時(shí)，充入氮?dú)饣驓鍤庖赃_(dá)到60KPa的壓力值，待溫度進(jìn)一步降至45至55°C后，靶材冷卻系統(tǒng)可以出爐。

**步驟三：水壓檢測**

最后，使用水壓檢測裝置對(duì)真空釬焊后的靶材冷卻系統(tǒng)進(jìn)行檢測。檢測標(biāo)準(zhǔn)為每分鐘的壓力漏率小于0.1%，變形量不超過5%。