真空爐在整個溫度曲線的熱區(qū)內(nèi)具有高度均勻性，是在大量負(fù)載下執(zhí)行相同加熱循環(huán)以及對較大工件進(jìn)行連續(xù)釬焊的理想系統(tǒng)。此外，它還能夠準(zhǔn)確地重復(fù)相同的循環(huán)。通過鏈接到循環(huán)程序的條形碼加載工件時，可以識別工件。因此，每個部件都可以與它自己的加熱循環(huán)相關(guān)聯(lián)。

在填料的熔化溫度下運行的真空爐的溫度通常高于形成氧化物的溫度。結(jié)果，在達(dá)到填料熔化溫度之前，即使是氧化的碎片也會在真空中失去氧化層。

必須清潔真空爐。這意味著不會在負(fù)載上留下污染物。

用于航空航天、粒子物理和冶金研究的真空爐是一個復(fù)雜而精密的系統(tǒng)，采用金屬熱室、干泵和超高真空爐的容器構(gòu)造標(biāo)準(zhǔn)特征制造。該爐符合NADCAP 要求，而循環(huán)編程軟件允許高精度的自動循環(huán)。

包含熱區(qū)的金屬室由多層金屬反射屏蔽層制成，內(nèi)屏蔽層為鉬/鑭，中間層為鉬和不銹鋼，外層屏蔽層為不銹鋼。規(guī)范要求的真空環(huán)境中的清潔水平是通過避免在熱室的構(gòu)造中使用絕緣材料面板來獲得的，例如鋁纖維或石墨海綿，能夠保持濕度或更差油蒸氣的材料。

完全由不銹鋼制成的真空密封容器在組裝前進(jìn)行內(nèi)部超聲波清洗，隨后使用氦檢漏儀進(jìn)行密封測試。這些組件完全是超高真空、金屬密封件或氟橡膠。

泵送系統(tǒng)不使用潤滑泵，而是使用干式主泵。羅茨泵（凸輪增壓泵）是一種典型的泵，其中密封取決于凸輪和定子之間的公差。超高真空泵可以是渦輪分子泵或低溫泵。但是，如果安裝了帶有供應(yīng)液氮的低溫捕集器或雙級 Polycold 系統(tǒng)，也可以使用油蒸汽擴(kuò)散泵。這兩種系統(tǒng)都能夠吸入可冷凝蒸汽并阻止油蒸汽的反向散射。