非晶合金是 20 在世紀(jì)材料領(lǐng)域的重大發(fā)現(xiàn)中，材料內(nèi)部的原子排列是長(zhǎng)而無(wú)序的短程 序列結(jié)構(gòu)，無(wú)位錯(cuò)、晶界等缺陷。這種獨(dú)特的結(jié)構(gòu)使非晶合金材料具有許多優(yōu)異的性能，如 軍事、微強(qiáng)度、硬度、耐磨性、耐腐蝕性、優(yōu)良的軟磁性等 / 納制造、運(yùn)動(dòng)器材、光通信、光通信 集成、激光、新型太陽(yáng)能電池、高效磁性和輸電材料具有廣闊的應(yīng)用前景。特別是非晶體 合金在過(guò)冷液相區(qū)具有超塑性能，在一定的溫度和壓力下，可以很好地復(fù)制模具上的每一個(gè) 形狀。因此，非晶合金零件的形成和應(yīng)用引起了廣泛的關(guān)注，未來(lái)具有廣闊的應(yīng)用前景。 然而，現(xiàn)有技術(shù)很難制備多層非晶合金微小零件。微納尺度金屬模具 很難加工，成型后的脫模也是一個(gè)難題。雖然刻蝕法可以加工微納尺度的硅 模具。但是，加工大深寬比的硅模也比較困難，形成大深寬比的微納零件需要更大的壓力 力，容易導(dǎo)致硅模破碎。另外，非晶合金很難完全填充大深寬比的模具型腔。因此，非晶合金 合金在多層微納零件中的應(yīng)用受到很大限制，很難充分發(fā)揮作為新工程材料的實(shí)用性 應(yīng)用價(jià)值。 針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的缺陷
本文的目的是為多層非晶合金提供真空擴(kuò)散焊接制備 小零件的方法旨在解決現(xiàn)有方法中多層非晶合金小零件成型困難的問(wèn)題。  為實(shí)現(xiàn)上述目的，本文提供了多層非晶合金微小零件的真空擴(kuò)散焊制備方形 法律，包括以下步驟 ：（1)對(duì)非晶合金材料進(jìn)行熱壓成型，以獲得非晶合金的小零件 ； （2)研磨成型后的非晶合金微小零件，去除飛邊 ； （3)清洗非晶合金微小零件和硅模具，包括以下步驟 ： 將非晶合金的小零件和硅模放入丙酮中進(jìn)行超聲波清洗，以去除表面油 脂雜質(zhì) ； （3-2)將非晶合金的小零件和硅模放入無(wú)水乙醇中進(jìn)行第二次超聲波清洗 ； （3-3)清洗后，將非晶合金小零件和硅模放入干凈的無(wú)水乙醇中保存 ；（4)組裝和固定非晶合金的小零件和硅模具，包括以下步驟 ： （4-1)在多層非晶合金微小零件和硅模具上套上硅模具保護(hù)套 ；（4-2）在 WC 多層非晶合金微小，依次放置在硬質(zhì)合金的下壓頭上，覆蓋硅模具保護(hù)套 零件和硅模具，以及 WC 硬合金上壓頭，并套上組合模具套，形成固定工件 ； （5)將固定的工件放入真空擴(kuò)散爐進(jìn)行焊接 （6)將焊接工件和硅模放入裝備中 KOH 在溶液容器中，將容器放入熱水中中水浴加熱零件從硅模中脫落，獲得多層非晶合金微小零件。
步驟如下：
包括以下步驟 ：(1-1)用切片機(jī)將非晶合金材料切割成非晶合金塊 ；(1-2)設(shè)置壓力成型機(jī)的成形參數(shù)，將切割好的非晶合金塊放在硅模具上，并進(jìn)行整理 成型機(jī)中的熱壓成型為非晶合金微小零件 ；在本實(shí)施方法中，成形參數(shù)包括溫度和壓力 還有保壓時(shí)間。  非晶合金材料是非晶合金薄板或棒材。 步驟(2)具體來(lái)說(shuō)，固定非晶合金的小零件和硅模具，粒度為 800 ＃、1000 ＃、 1200 ＃砂紙和拋光布研磨飛邊端面并拋光，以完全去除飛邊和表面氧化層，并進(jìn)行焊接 如果非晶合金微小零件需要雙面焊接，則采用相同的研磨方法去除非晶合金微小零件 硅的另一端，直到非晶合金的另一端面暴露出來(lái)。 在步驟(4)中，非晶合金微小零件和硅模具的層數(shù)超過(guò)兩層。 步驟(5)包括以下步驟 ： (5-1)將固定的工件放在真空擴(kuò)散焊設(shè)備的下壓頭上，調(diào)整真空擴(kuò)散焊設(shè)備 產(chǎn)生上壓頭 5MPa 的預(yù)緊力。 (5-2)關(guān)閉真空擴(kuò)散焊設(shè)備的真空室門(mén)，打開(kāi)真空擴(kuò)散焊設(shè)備，開(kāi)始抽真空 ； (5-3)當(dāng)真空度為 1×10-3 Pa ～ 8×10-3 Pa 當(dāng)加熱開(kāi)始時(shí)，加熱速率為 5 ～ 10℃ / min ； （5-4）加熱至 370℃～ 430℃時(shí)，應(yīng)施加軸向壓力并進(jìn)行保溫 40min ～ 70min ； (5-5)保溫過(guò)程結(jié)束后，卸載軸向壓力，工件隨爐冷卻至室溫，焊接完成。步驟（6）中 KOH 溶液濃度為 熱水溫度為40% 80℃水浴加熱時(shí)間為80℃ 5 小時(shí)。 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明通過(guò)本文構(gòu)思的上述技術(shù)方案具有以下有益效果 果 ：  1、本發(fā)明可實(shí)現(xiàn)多層非晶合金微小零件的一次鍵合，連接精密可靠，零件復(fù)雜 度范圍廣 ； 2、本文采用真空擴(kuò)散焊接多層非晶合金微小零件，形成良好的焊接區(qū)域 ； 3、本發(fā)明通過(guò)在適當(dāng)?shù)慕^緣壓力下調(diào)整焊接溫度和焊接時(shí)間，可以使焊接 非晶材料繼續(xù)保持非晶特性，不破壞材料的結(jié)構(gòu)和性能 ；  4、本文可實(shí)現(xiàn)多種非晶合金材料、多層、多形狀等不同形式的非晶合金多微納 零件制備，擴(kuò)大材料在工程中的應(yīng)用范圍，提高材料的應(yīng)用價(jià)值。