本文通過(guò)大量實(shí)驗(yàn)篩選真空擴(kuò)散焊前的無(wú)氧銅腔環(huán)和純鐵大腔的清洗工藝，對(duì)真空擴(kuò)散焊過(guò)程中的具體加熱程序和加壓程序進(jìn)行了篩選。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，本文制備的復(fù)合腔質(zhì)量好、強(qiáng)度高、焊接精度高、復(fù)合腔 可以克服現(xiàn)有技術(shù)的小變形“死空間”現(xiàn)象和污染 現(xiàn)象 ；此外，本文一次可實(shí)現(xiàn)多片復(fù)合腔焊接，生產(chǎn)效率高，批量生產(chǎn)一致性好。此外，實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，采用本發(fā)明真空擴(kuò)散焊接方法制備的復(fù)合腔組裝具有駐波比小、耦合腔波管輸出功率高、技術(shù)效果好等特點(diǎn)。

耦合腔行波管復(fù)合腔片的焊接方法包括以下步驟 ：純鐵大腔片 (1) 的清洗具體步驟為 ：取純鐵腔片(1)用三氯乙烯浸泡20~60分鐘，然后取出放入堿中的超聲器。

超聲波清洗溶液30~60分鐘，用自來(lái)水沖洗，取出50~60分鐘％鹽酸浸泡濃度為0.5～5 幾分鐘后，浸泡乙醇脫水，然后干燥，實(shí)現(xiàn)純鐵腔片 (1) 清洗 ；b、無(wú)氧銅腔環(huán) (2) 的清洗 ：具體步驟為 ：取無(wú)氧銅腔環(huán)(2)在堿洗溶液中超聲清洗30~60分鐘，取無(wú)氧銅腔環(huán)(2)硝酸拋光液用于拋光，然后用于拋光 50~60% 鹽酸浸泡濃度 10~30 秒，沖洗干凈后浸泡乙醇脫水，然后干燥，實(shí)現(xiàn)無(wú)氧銅腔環(huán) (2) 的清洗 ；c、零件裝配 ：無(wú)氧銅腔環(huán)(2)用模具組裝在純鐵大腔片(1)上，待復(fù)合腔片焊接件 ；d、真空擴(kuò)散焊接 ：取步驟 c 組裝好的復(fù)合腔放入真空擴(kuò)散爐中，將真空擴(kuò)散爐抽真空，當(dāng)真空時(shí) 擴(kuò)散爐內(nèi)的真空度≤ 1×10-4 Pa，開始升溫，300保溫20分鐘，500保溫20分鐘 800保溫30分鐘 在880保溫60分鐘的加熱過(guò)程中，保持真空擴(kuò)散 爐內(nèi)真空度為 1×10-3 Pa 以下 ：加熱后，當(dāng)爐子冷卻至室溫時(shí)，取出復(fù)合腔片。